用于监测等离子体自由基物质通量的方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480027252.5

申请日：

2024-08-13

公开(公告)号：

CN121002633A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

马丁·希尔金托宾·卡芙曼-奥斯本赵润镒

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

G06N20/00

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

横向等离子体/自由基源 [P].

A·K·萨布莱曼尼 ;

K·甘加基德加 ;

A·乔杜里 ;

J·C·福斯特 ;

N·南塔瓦拉努 ;

K·贝拉 ;

P·A·克劳斯 ;

F·豪斯曼 .

中国专利 :CN106783499B ,2017-05-31

[2]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

日本专利 :CN112154528B ,2024-10-29

[3]

含有等离子体的自由基源 [P].

巴顿·莱恩 ;

彼得·文特泽克 .

中国专利 :CN112154528A ,2020-12-29

[4]

蜂窝形状等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

韩传宇 ;

赵玲利 ;

张朝前 .

中国专利 :CN102310063A ,2012-01-11

[5]

等离子体源-自由基源自由切换的腔体及工艺 [P].

杨平 .

中国专利 :CN119811973A ,2025-04-11

[6]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·P·汉考克 ;

G·乌尔里克 ;

D·E·韦伯 ;

L·特纳 ;

乔治·霍格金斯 ;

S·普雷斯顿 ;

西蒙·梅多克罗夫特 .

中国专利 :CN115461089A ,2022-12-09

[7]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·P·汉考克 ;

G·C·乌尔里克 ;

D·E·韦伯 .

中国专利 :CN115666663A ,2023-01-31

[8]

用于产生等离子体和羟基自由基的灭菌设备 [P].

C·汉考克 ;

L·特纳 ;

S·普雷斯顿 ;

西蒙·梅多克罗夫特 .

中国专利 :CN115461090A ,2022-12-09

[9]

用于监测等离子体的系统 [P].

M·A·普维斯 ;

K·M·休姆勒 ;

丁程远 ;

R·J·拉法克 ;

I·V·福门科夫 .

中国专利 :CN111566563A ,2020-08-21

[10]

一种常压等离子体自由基清洗系统 [P].

王守国 ;

贾少霞 ;

赵玲利 ;

杨景华 .

中国专利 :CN103357619A ,2013-10-23

← 1 2 3 4 5 →