光掩模保护膜的安装方法和光掩模保护膜框架

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010182757.9

申请日：

2010-05-20

公开(公告)号：

CN102253610A

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

侯鑫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F114

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;徐丁峰

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-23	公开	公开
2013-02-06	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101510221150 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010101827579 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20130105
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165562247 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010101827579 申请日:20100520
2014-07-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101702974254 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010101827579 申请公布日:20111123

共 50 条

[1]

光掩模安装保护膜的定位方法 [P].

王国荃 .

中国专利 :CN102117027A ,2011-07-06

[2]

光掩模保护膜残胶移除 [P].

吴半秋 ;

伊莱·达甘 .

中国专利 :CN112368638A ,2021-02-12

[3]

光掩模保护薄膜、光掩模保护膜组装件及其形成方法 [P].

蔡沛勋 ;

黎君裔 ;

陈泓霖 ;

冀天齐 ;

钟博文 ;

钟承恩 ;

许景河 ;

庄郁凡 ;

陈昱庭 ;

徐闵庭 ;

魏川育 ;

黄健朝 ;

蔡飞国 ;

涂志强 ;

翁睿均 ;

张佑诚 ;

陈庆跃 ;

林云跃 ;

王大钧 .

中国专利 :CN119960252A ,2025-05-09

[4]

保护膜以及包括该保护膜的光掩模组件 [P].

郑镛席 ;

全桓徹 ;

金炳局 ;

崔在爀 ;

权星元 .

中国专利 :CN106406021A ,2017-02-15

[5]

光掩模保护膜系统和集成电路的制造方法 [P].

林本坚 ;

李信昌 ;

姚铭峻 .

中国专利 :CN101354527B ,2009-01-28

[6]

去除光掩模保护膜残胶的装置及方法 [P].

仲涛 ;

秦学飞 ;

秦弘宇 .

中国专利 :CN120993665A ,2025-11-21

[7]

掩模保护膜去除装置及其方法 [P].

田明静 .

中国专利 :CN101105634A ,2008-01-16

[8]

一种光掩模保护膜拆卸装置 [P].

高丁山 .

中国专利 :CN223431561U ,2025-10-14

[9]

掩模版保护膜的撬膜装置 [P].

张闯 ;

严江伟 .

中国专利 :CN210864315U ,2020-06-26

[10]

光掩模保护膜贴合胶宽测量方法及装置 [P].

高丁山 .

中国专利 :CN119468929A ,2025-02-18

← 1 2 3 4 5 →