蚀刻夹具及篮具

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721646751.6
申请日
2017-11-30
公开(公告)号
CN207844458U
公开(公告)日
2018-09-11
发明(设计)人
徐慧 曹军华 孙骏超 何智斌 易伟华
申请人
申请人地址
338004 江西省新余市高新技术产业开发区西城大道沃格工业园
IPC主分类号
B65G4906
IPC分类号
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
生启
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[41]
一种Plasma蚀刻夹具 [P]. 
李强 ;
顾荣荣 ;
张立应 .
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[42]
晶圆蚀刻载具装置 [P]. 
胡泰祥 .
中国专利 :CN209328874U ,2019-08-30
[43]
一种蚀刻治具 [P]. 
熊守义 .
中国专利 :CN220503205U ,2024-02-20
[44]
一种蚀刻栏具 [P]. 
李重寰 .
中国专利 :CN205035278U ,2016-02-17
[45]
一种蚀刻治具 [P]. 
刘光辉 ;
李飞 .
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[46]
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[47]
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黎立桂 ;
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[48]
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[49]
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[50]
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