圆筒形溅射靶及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980115459.3

申请日：

2009-06-09

公开(公告)号：

CN102016111A

公开(公告)日：

2011-04-13

发明(设计)人：

户床茂久玉野公章伊藤谦一涉田见哲夫

申请人：

申请人地址：

日本山口县

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

刘晓迪

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-24	授权	授权
2011-04-13	公开	公开
2011-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101077889884 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009801154593 申请日:20090609

共 50 条

[1]

圆筒形溅射靶及其制造方法 [P].

除補正则 .

中国专利 :CN104246003A ,2014-12-24

[2]

圆筒形溅射靶 [P].

鹤田好孝 .

中国专利 :CN105986232A ,2016-10-05

[3]

圆筒形溅射靶 [P].

户床茂久 ;

伊藤谦一 ;

涩田见哲夫 .

中国专利 :CN101688293B ,2010-03-31

[4]

圆筒形溅射靶 [P].

石田新太郎 ;

久保田高史 .

中国专利 :CN107829073A ,2018-03-23

[5]

圆筒形溅射靶用靶材的制造方法和圆筒形溅射靶 [P].

石田新太郎 .

中国专利 :CN105683408B ,2016-06-15

[6]

陶瓷圆筒形溅射靶材及其制造方法 [P].

真崎贵则 ;

石田新太郎 .

中国专利 :CN104066700B ,2014-09-24

[7]

陶瓷圆筒形溅射靶材及其制造方法 [P].

真崎贵则 ;

石田新太郎 .

中国专利 :CN107419226A ,2017-12-01

[8]

圆筒形防溅射靶 [P].

凌桂龙 ;

李晶华 ;

夏勇 .

中国专利 :CN108216697A ,2018-06-29

[9]

圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置与制造方法 [P].

池东求 ;

秋庭里美 ;

武内朋哉 .

中国专利 :CN106232860B ,2016-12-14

[10]

圆筒形烧结体及圆筒形溅射靶 [P].

寺村享祐 .

中国专利 :CN210341043U ,2020-04-17

← 1 2 3 4 5 →