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圆筒形溅射靶及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201380019524.9
申请日：
2013-07-11
公开(公告)号：
CN104246003A
公开(公告)日：
2014-12-24
发明(设计)人：
除補正则
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：
齐葵;周艳玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-12-24 | 公开 | 公开 |
| 2017-02-22 | 发明专利更正 | 发明专利更正 号牌文件类型代码:1608 号牌文件序号:101747042516 卷:32 号:39 页码:全文 申请号:2013800195249 IPC(主分类):C23C0014340000 修正类型代码:无 更正项目:说明书 误:按进入中国国家阶段时提交的国际申请文件的中文文本的说明书1-43段 正:依据专利合作条约第28条或第41条提交的修改的说明书1-43段 |
| 2015-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614949125 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2013800195249 申请日:20130711 |
| 2016-09-28 | 授权 | 授权 |