一种改进性能的Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110328241.5

申请日：

2011-10-26

公开(公告)号：

CN103074562B

公开(公告)日：

2013-05-01

发明(设计)人：

邵花王文东夏洋李勇滔

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

C23C411

IPC分类号：

C23C4134

代理机构：

北京华沛德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586880462 IPC(主分类):C23C 4/10 专利申请号:2011103282415 申请日:20111026
2013-05-01	公开	公开
2016-12-14	授权	授权
2020-12-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/11 登记生效日:20201215 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院微电子研究所变更后权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司变更事项:地址变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号变更后权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601
2022-05-06	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/11 登记生效日:20220425 变更事项:专利权人变更前权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司变更后权利人:锐立平芯微电子（广州）有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 变更后权利人:510000 广东省广州市黄埔区开发大道348号建设大厦710室

共 50 条

[1]

一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的改进方法 [P].

邵花 ;

王文东 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103074563B ,2013-05-01

[2]

一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法 [P].

王文东 ;

罗小晨 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103074568A ,2013-05-01

[3]

一种制备Y2O3陶瓷涂层的改进方法 [P].

邵花 ;

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103132001A ,2013-06-05

[4]

一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法 [P].

邵花 ;

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103132002A ,2013-06-05

[5]

一种大气等离子喷涂技术制备Y+Y2O3/Y2O3复合涂层的方法 [P].

崔新宇 ;

沈艳芳 ;

李宁 ;

王吉强 ;

熊天英 .

中国专利 :CN110408880A ,2019-11-05

[6]

一种低压等离子喷涂技术制备Y2O3陶瓷涂层的方法 [P].

邵花 ;

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103132007A ,2013-06-05

[7]

一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法 [P].

邵花 ;

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103132006B ,2013-06-05

[8]

一种水稳等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法 [P].

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103074567A ,2013-05-01

[9]

一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法 [P].

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103132004A ,2013-06-05

[10]

一种超音速等离子体喷涂技术制备Y2O3涂层的方法 [P].

王文东 ;

刘邦武 ;

夏洋 ;

李勇滔 .

中国专利 :CN103074566A ,2013-05-01

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