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一种黑色Y2O3陶瓷涂层的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110396423.6
申请日：
2011-12-02
公开(公告)号：
CN103132002A
公开(公告)日：
2013-06-05
发明(设计)人：
邵花
王文东
刘邦武
夏洋
李勇滔
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
C23C410
IPC分类号：
C23C412
代理机构：
北京市德权律师事务所 11302
代理人：
刘丽君
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-06-05 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-13 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/10 登记生效日:20220506 变更事项:专利权人 变更前权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司 变更后权利人:锐立平芯微电子（广州）有限责任公司 变更事项:地址 变更前权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 变更后权利人:510000 广东省广州市黄埔区开发大道348号建设大厦710室 |
| 2015-04-15 | 授权 | 授权 |
| 2013-07-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101486729518 IPC(主分类):C23C 4/10 专利申请号:2011103964236 申请日:20111202 |
| 2021-01-08 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C23C 4/10 登记生效日:20201228 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 |