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一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器及其使用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910470776.2
申请日：
2019-05-31
公开(公告)号：
CN110113856A
公开(公告)日：
2019-08-09
发明(设计)人：
高松华
高立华
申请人：
申请人地址：
365000 福建省三明市三元区荆东路25号
IPC主分类号：
H05H146
IPC分类号：
代理机构：
厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222
代理人：
杨玉芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-09 | 公开 | 公开 |
| 2019-10-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20190531 |