低真空低温射频感性耦合等离子体反应器及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410684085.X

申请日：

2014-11-25

公开(公告)号：

CN104368288A

公开(公告)日：

2015-02-25

发明(设计)人：

高松华高立华陈礼炜

申请人：

申请人地址：

365004 福建省三明市三元区荆东路25号

IPC主分类号：

B01J1908

IPC分类号：

代理机构：

福州元创专利商标代理有限公司 35100

代理人：

蔡学俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602538922 IPC(主分类):B01J 19/08 专利申请号:201410684085X 申请日:20141125
2017-02-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101746124583 IPC(主分类):B01J 19/08 专利申请号:201410684085X 申请公布日:20150225
2015-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

低真空低温射频感性耦合等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN204275958U ,2015-04-22

[2]

一种低真空低温射频容性耦合等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN205160893U ,2016-04-13

[3]

一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器及其使用方法 [P].

高松华 ;

高立华 .

中国专利 :CN110113856A ,2019-08-09

[4]

一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 .

中国专利 :CN210469842U ,2020-05-05

[5]

一种简易常压低温射频等离子体反应器 [P].

高松华 ;

高立华 ;

陈礼炜 .

中国专利 :CN204289365U ,2015-04-22

[6]

等离子体反应器 [P].

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN211350572U ,2020-08-25

[7]

电感耦合等离子体反应器 [P].

瓦伦丁·N·托多罗夫 ;

萨姆尔·班纳 ;

安库尔·阿加瓦尔 ;

陈志刚 ;

王泽江 ;

安德鲁·阮 ;

马丁·杰夫·萨利纳斯 .

中国专利 :CN102056393B ,2011-05-11

[8]

等离子体反应器及其射频功率分布调节方法 [P].

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN113496862B ,2024-09-06

[9]

等离子体反应器及其射频功率分布调节方法 [P].

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN113496862A ,2021-10-12

[10]

感应耦合等离子体反应器 [P].

崔大圭 .

中国专利 :CN101080133A ,2007-11-28

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