靶材真空喷涂生产设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420483370.0
申请日
2014-08-26
公开(公告)号
CN204052037U
公开(公告)日
2014-12-31
发明(设计)人
陈芳 施玉良
申请人
申请人地址
224005 江苏省盐城市盐都区盐龙街道办事处纬八路88号(D)
IPC主分类号
B05C500
IPC分类号
B05C1500 B05C1110 B05C1302 B05D300 B05D304
代理机构
南京天华专利代理有限责任公司 32218
代理人
夏平
法律状态
避免重复授权放弃专利权
国省代码
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共 50 条
[1]
靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
陈芳 ;
施玉良 .
中国专利 :CN104174544B ,2014-12-03
[2]
靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
吴宏伟 .
中国专利 :CN211385479U ,2020-09-01
[3]
一种靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
段翠桃 .
中国专利 :CN212975629U ,2021-04-16
[4]
一种靶材喷涂生产设备 [P]. 
吴智良 .
中国专利 :CN214881825U ,2021-11-26
[5]
一种靶材喷涂生产设备 [P]. 
吴智良 .
中国专利 :CN115522193A ,2022-12-27
[6]
一种高纯靶材真空喷涂装置 [P]. 
余成有 .
中国专利 :CN112974082A ,2021-06-18
[7]
一种高纯靶材真空喷涂装置 [P]. 
余成有 .
中国专利 :CN216655023U ,2022-06-03
[8]
靶材结构及真空溅射设备 [P]. 
刘伟基 ;
冀鸣 ;
易洪波 ;
吴秋生 .
中国专利 :CN221398009U ,2024-07-23
[9]
一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置 [P]. 
王斌 .
中国专利 :CN215695147U ,2022-02-01
[10]
一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置 [P]. 
罗建冬 .
中国专利 :CN203834000U ,2014-09-17