一种靶材真空喷涂生产设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021631861.7
申请日
2020-08-07
公开(公告)号
CN212975629U
公开(公告)日
2021-04-16
发明(设计)人
段翠桃
申请人
申请人地址
510000 广东省广州市增城区新塘镇凤凰城凤天苑7街7座902
IPC主分类号
B05B1600
IPC分类号
B05B1640 B05B1302 B05B1304
代理机构
深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728
代理人
刘英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
吴宏伟 .
中国专利 :CN211385479U ,2020-09-01
[2]
靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
陈芳 ;
施玉良 .
中国专利 :CN104174544B ,2014-12-03
[3]
靶材真空喷涂生产设备 [P]. 
陈芳 ;
施玉良 .
中国专利 :CN204052037U ,2014-12-31
[4]
一种靶材喷涂生产设备 [P]. 
吴智良 .
中国专利 :CN214881825U ,2021-11-26
[5]
一种靶材喷涂生产设备 [P]. 
吴智良 .
中国专利 :CN115522193A ,2022-12-27
[6]
一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备 [P]. 
雷雨 ;
周志宏 ;
肖世洪 ;
汤冠强 ;
刘芳 .
中国专利 :CN216550655U ,2022-05-17
[7]
一种靶材平面工件的喷涂设备 [P]. 
张春 ;
温艳玲 ;
温松鹤 .
中国专利 :CN213557842U ,2021-06-29
[8]
一种高纯靶材真空喷涂装置 [P]. 
余成有 .
中国专利 :CN216655023U ,2022-06-03
[9]
一种用于真空靶材喷涂的真空喷涂罐结构 [P]. 
罗永春 .
中国专利 :CN203373415U ,2014-01-01
[10]
一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统 [P]. 
施玉良 ;
徐文斌 .
中国专利 :CN210544124U ,2020-05-19