一种靶材真空喷涂设备的粉尘浓度控制系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201921140033.0
申请日
2019-07-19
公开(公告)号
CN210544124U
公开(公告)日
2020-05-19
发明(设计)人
施玉良 徐文斌
申请人
申请人地址
224000 江苏省盐城市盐城高新区凤凰南路18号
IPC主分类号
B01D5000
IPC分类号
代理机构
成都明涛智创专利代理有限公司 51289
代理人
丁国勇
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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