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一种扩散炉用的石英舟
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022600978.5
申请日：
2020-11-11
公开(公告)号：
CN213424947U
公开(公告)日：
2021-06-11
发明(设计)人：
俞聪聪
申请人：
申请人地址：
310000 浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区红垦农场红泰六路489号27幢1号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
北京沁优知识产权代理有限公司 11684
代理人：
郭峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-11 | 授权 | 授权 |