一种扩散炉的石英舟抓手

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022637701.X

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN213424958U

公开(公告)日：

2021-06-11

发明(设计)人：

秦彬

申请人：

申请人地址：

310000 浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区红垦农场红泰六路489号27幢1号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167 H01L3118

代理机构：

北京沁优知识产权代理有限公司 11684

代理人：

姜宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

基于扩散炉的新型石英舟抓手 [P].

钟清海 .

中国专利 :CN207233764U ,2018-04-13

[2]

石英舟、石英舟组件及扩散炉 [P].

谢毅 ;

周公庆 ;

马志强 ;

王璞 ;

陈坤 .

中国专利 :CN212610988U ,2021-02-26

[3]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 ;

刘宗刚 .

中国专利 :CN217768318U ,2022-11-08

[4]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 .

中国专利 :CN218039127U ,2022-12-13

[5]

用于高温扩散炉的石英舟叉装置 [P].

陈锦健 .

中国专利 :CN202282377U ,2012-06-20

[6]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

俞聪聪 .

中国专利 :CN213424947U ,2021-06-11

[7]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

汤芳 ;

常永喜 ;

张勇 ;

孙秋谨 .

中国专利 :CN221797748U ,2024-10-01

[8]

一种扩散炉石英舟结构 [P].

杨宝立 ;

周湘源 ;

张勇 .

中国专利 :CN205789905U ,2016-12-07

[9]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

孟庆昌 ;

赵海军 .

中国专利 :CN216902860U ,2022-07-05

[10]

一种用于立式扩散炉的石英舟 [P].

高鹏 ;

刘阳 ;

罗奕 ;

张应红 ;

孙宁 ;

唐亮 ;

高波 ;

王岩 .

中国专利 :CN206225341U ,2017-06-06

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