一种用于扩散炉内的石英舟传送机构

被引：0

申请号：

CN202220109237.3

申请日：

2022-01-17

公开(公告)号：

CN216902860U

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

孟庆昌赵海军

申请人：

申请人地址：

266109 山东省青岛市城阳区夏庄街道少山社区172号-1

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

山东易佰捷知识产权代理事务所(普通合伙) 37326

代理人：

李勇鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206076214U ,2017-04-05

[2]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN106128990A ,2016-11-16

[3]

用于高温扩散炉的石英舟叉装置 [P].

陈锦健 .

中国专利 :CN202282377U ,2012-06-20

[4]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN215887225U ,2022-02-22

[5]

一种扩散炉的石英舟抓手 [P].

秦彬 .

中国专利 :CN213424958U ,2021-06-11

[6]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN210943576U ,2020-07-07

[7]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 ;

刘宗刚 .

中国专利 :CN217768318U ,2022-11-08

[8]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 .

中国专利 :CN218039127U ,2022-12-13

[9]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206052147U ,2017-03-29

[10]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN110654792A ,2020-01-07

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