一种用于扩散炉内的石英舟传送机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610721277.2

申请日：

2016-08-25

公开(公告)号：

CN106128990A

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

肖岳南张勇

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

胡朝阳;尹彦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-16	公开	公开
2019-09-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20161116
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691390061 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2016107212772 申请日:20160825

共 50 条

[1]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206076214U ,2017-04-05

[2]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

孟庆昌 ;

赵海军 .

中国专利 :CN216902860U ,2022-07-05

[3]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN215887225U ,2022-02-22

[4]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206052147U ,2017-03-29

[5]

一种用于立式扩散炉的石英舟 [P].

高鹏 ;

刘阳 ;

罗奕 ;

张应红 ;

孙宁 ;

唐亮 ;

高波 ;

王岩 .

中国专利 :CN206225341U ,2017-06-06

[6]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 ;

刘宗刚 .

中国专利 :CN217768318U ,2022-11-08

[7]

一种扩散石英舟以及扩散炉 [P].

周公庆 .

中国专利 :CN218039127U ,2022-12-13

[8]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

俞聪聪 .

中国专利 :CN213424947U ,2021-06-11

[9]

一种用于扩散炉的石英舟承载装置 [P].

李铁 ;

李杨 .

中国专利 :CN213150753U ,2021-05-07

[10]

一种扩散炉的石英舟抓手 [P].

秦彬 .

中国专利 :CN213424958U ,2021-06-11

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