一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120783879.7

申请日：

2021-04-16

公开(公告)号：

CN215887225U

公开(公告)日：

2022-02-22

发明(设计)人：

高斌施文成李友军李友萍

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区安镇街道丹山路78号锡东创融大厦D座208室

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C1654

代理机构：

无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323

代理人：

吕志垚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206052147U ,2017-03-29

[2]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN210943576U ,2020-07-07

[3]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN110654792A ,2020-01-07

[4]

一种石墨舟快速传送机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 .

中国专利 :CN108417521A ,2018-08-17

[5]

一种石墨舟快速传送机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 .

中国专利 :CN208189556U ,2018-12-04

[6]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

孟庆昌 ;

赵海军 .

中国专利 :CN216902860U ,2022-07-05

[7]

一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206076214U ,2017-04-05

[8]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[9]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

[10]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

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