用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备

被引：0

申请号：

CN202220193563.7

申请日：

2022-01-21

公开(公告)号：

CN217026072U

公开(公告)日：

2022-07-22

发明(设计)人：

李时俊杨宝立王凯林金雨

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650 C23C16509

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

洪铭福

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[2]

具有新结构石墨舟的PECVD设备 [P].

宋立禄 .

中国专利 :CN202323023U ,2012-07-11

[3]

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架 [P].

王平 ;

周天贤 ;

张军虎 .

中国专利 :CN204151412U ,2015-02-11

[4]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30

[5]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[6]

石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备 [P].

李学文 ;

刘兵吉 ;

肖岳南 ;

王郴意 ;

魏壮 .

中国专利 :CN223134586U ,2025-07-22

[7]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[8]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN110116962A ,2019-08-13

[9]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

[10]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

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