可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920835406.X

申请日：

2019-06-04

公开(公告)号：

CN210884895U

公开(公告)日：

2020-06-30

发明(设计)人：

邓金生周宏业黎佐兴李时俊

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号

IPC主分类号：

B66C122

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

尹彦;胡朝阳

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-30	授权	授权

共 50 条

[1]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN110116962A ,2019-08-13

[2]

具有新结构石墨舟的PECVD设备 [P].

宋立禄 .

中国专利 :CN202323023U ,2012-07-11

[3]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[4]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[5]

回字型石墨舟页及石墨舟 [P].

金晨淦 ;

金刚刚 ;

李永伟 ;

董军委 ;

王春来 .

中国专利 :CN217922310U ,2022-11-29

[6]

槽式石墨舟垫腿及石墨舟 [P].

侯新倾 ;

乔拓 .

中国专利 :CN204792729U ,2015-11-18

[7]

石墨舟片及石墨舟 [P].

李苗苗 ;

何军 .

中国专利 :CN206477027U ,2017-09-08

[8]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[9]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[10]

石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟 [P].

范洵 ;

付少剑 ;

郁寅珑 ;

张明明 .

中国专利 :CN218146938U ,2022-12-27

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