具有新结构石墨舟的PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120459906.1

申请日：

2011-11-18

公开(公告)号：

CN202323023U

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

宋立禄

申请人：

申请人地址：

266100 山东省青岛市高新技术产业开发区创业中心318-24房间

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

山东清泰律师事务所 37222

代理人：

宁燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	授权	授权
2017-01-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101695981067 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2011204599061 申请日:20111118 授权公告日:20120711 终止日期:20151118

共 50 条

[1]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30

[2]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN110116962A ,2019-08-13

[3]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[4]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[5]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[6]

一种PECVD设备的石墨电极结构和PECVD设备 [P].

杨龙 ;

陈森 ;

王晶 ;

刘德茂 ;

李广旭 ;

张凯 .

中国专利 :CN222313301U ,2025-01-07

[7]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

[8]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[9]

一种石墨舟电极头以及PECVD设备 [P].

燕帅 ;

何军涛 ;

韦伟东 ;

何俊 ;

张楠楠 ;

朱新刚 ;

刘颜清 ;

李瑞波 .

中国专利 :CN221141869U ,2024-06-14

[10]

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架 [P].

王平 ;

周天贤 ;

张军虎 .

中国专利 :CN204151412U ,2015-02-11

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