一种PECVD设备石墨舟保护机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821324392.7

申请日：

2018-08-16

公开(公告)号：

CN208507638U

公开(公告)日：

2019-02-15

发明(设计)人：

林启陈刚汪伟魏玉明

申请人：

申请人地址：

610299 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21673 H01L3118

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

杨保刚;邓芸

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨舟电极头以及PECVD设备 [P].

燕帅 ;

何军涛 ;

韦伟东 ;

何俊 ;

张楠楠 ;

朱新刚 ;

刘颜清 ;

李瑞波 .

中国专利 :CN221141869U ,2024-06-14

[2]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30

[3]

具有新结构石墨舟的PECVD设备 [P].

宋立禄 .

中国专利 :CN202323023U ,2012-07-11

[4]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[5]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[6]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[7]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

[8]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[9]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN110116962A ,2019-08-13

[10]

一种PECVD设备的冷却机构 [P].

宛正 ;

樊选胜 .

中国专利 :CN221192323U ,2024-06-21

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