一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611008331.5

申请日：

2016-11-16

公开(公告)号：

CN106756892A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

肖洁李斌曹明旺

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清;徐好

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729328406 IPC(主分类):C23C 16/50 专利申请号:2016110083315 申请日:20161116
2017-05-31	公开	公开
2019-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[2]

一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构 [P].

王玉明 ;

刘景博 ;

陈晖 ;

张庶 .

中国专利 :CN210826352U ,2020-06-23

[3]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[4]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[5]

一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构 [P].

刘景博 ;

王玉明 ;

陈晖 .

中国专利 :CN212874460U ,2021-04-02

[6]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

[7]

一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置 [P].

刘景博 ;

王玉明 ;

陈晖 .

中国专利 :CN212874459U ,2021-04-02

[8]

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架 [P].

王平 ;

周天贤 ;

张军虎 .

中国专利 :CN204151412U ,2015-02-11

[9]

一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置 [P].

王镇 .

中国专利 :CN208938950U ,2019-06-04

[10]

一种石墨舟的推舟装置 [P].

张宇 ;

吴德轶 .

中国专利 :CN205024323U ,2016-02-10

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