一种用于PECVD石墨舟的自动搬舟装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821868697.4

申请日：

2018-11-13

公开(公告)号：

CN208938950U

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

王镇

申请人：

申请人地址：

314300 浙江省嘉兴市海盐县澉浦镇六里集镇翠屏路北侧

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

嘉兴永航专利代理事务所(普通合伙) 33265

代理人：

俞培锋

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[2]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[3]

用于PECVD自动化上下石墨舟的装置 [P].

杨晴 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN208352275U ,2019-01-08

[4]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[5]

一种PECVD石墨舟的电池片插片方法和PECVD石墨舟 [P].

李宏 ;

秦积海 ;

王苗 ;

孙长红 ;

李亚兵 ;

贾慧君 .

中国专利 :CN111081618A ,2020-04-28

[6]

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构 [P].

肖洁 ;

李斌 ;

曹明旺 .

中国专利 :CN106756892A ,2017-05-31

[7]

一种PECVD用石墨舟 [P].

朱旭东 ;

史孟杰 .

中国专利 :CN211170885U ,2020-08-04

[8]

一种新型PECVD石墨舟 [P].

叶荣文 ;

褚玉宝 ;

沈欢 ;

肖仲 ;

刘俊 .

中国专利 :CN207367943U ,2018-05-15

[9]

一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置 [P].

区碧莲 .

中国专利 :CN112216637A ,2021-01-12

[10]

一种石墨舟自动拍舟装置 [P].

李健 .

中国专利 :CN211665169U ,2020-10-13

← 1 2 3 4 5 →