一种PECVD用石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921668427.3

申请日：

2019-10-08

公开(公告)号：

CN211170885U

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

朱旭东史孟杰

申请人：

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴市金张渚工业区

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C16513

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

张超

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权

共 50 条

[1]

PECVD石墨舟用石墨钉 [P].

鲁科 ;

乔琦 ;

陆红艳 ;

黄海涛 ;

陈如龙 .

中国专利 :CN204417588U ,2015-06-24

[2]

PECVD用石墨舟卡点 [P].

叶飞 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN205170969U ,2016-04-20

[3]

PECVD用石墨舟移送装置 [P].

沈晓 .

中国专利 :CN214567118U ,2021-11-02

[4]

一种新型PECVD石墨舟 [P].

叶荣文 ;

褚玉宝 ;

沈欢 ;

肖仲 ;

刘俊 .

中国专利 :CN207367943U ,2018-05-15

[5]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[6]

一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备 [P].

周佑丞 ;

谭建 ;

谢洪波 ;

张春成 ;

赵志然 .

中国专利 :CN215757606U ,2022-02-08

[7]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[8]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[9]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

[10]

一种PECVD石墨舟挡板陶瓷圈 [P].

陈程 ;

黄思敏 .

中国专利 :CN209526075U ,2019-10-22

← 1 2 3 4 5 →