一种饱和用管式PECVD石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620533828.8

申请日：

2016-06-02

公开(公告)号：

CN205789903U

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

俞亚东党继东袁中存

申请人：

申请人地址：

215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118 C23C16458

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;林波

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人变更前:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更后:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司变更事项:地址变更前:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更后:215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号变更事项:专利权人变更前:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
2016-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构 [P].

陈园 ;

史伟伟 ;

杨晓琴 ;

付少剑 ;

曹雪 ;

刘庆平 ;

陆祥 .

中国专利 :CN207199584U ,2018-04-06

[2]

一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩 [P].

郑银先 ;

党继东 ;

张标 .

中国专利 :CN206639785U ,2017-11-14

[3]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[4]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[5]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[6]

一种管式PECVD石墨舟冷却房 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206591181U ,2017-10-27

[7]

一种高性能管式PECVD石墨舟 [P].

凌杰 .

中国专利 :CN208869659U ,2019-05-17

[8]

一种适用于管式PECVD的石墨舟 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206148411U ,2017-05-03

[9]

PECVD石墨舟用石墨钉 [P].

鲁科 ;

乔琦 ;

陆红艳 ;

黄海涛 ;

陈如龙 .

中国专利 :CN204417588U ,2015-06-24

[10]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

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