一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720610017.8

申请日：

2017-05-27

公开(公告)号：

CN207199584U

公开(公告)日：

2018-04-06

发明(设计)人：

陈园史伟伟杨晓琴付少剑曹雪刘庆平陆祥

申请人：

申请人地址：

334000 江西省上饶市经济技术开发区兴业大道8号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118 C23C1654

代理机构：

南昌恒桥知识产权代理事务所(普通合伙) 36125

代理人：

杨志宇

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/673 登记生效日:20200225 变更事项:专利权人变更前权利人:江西展宇新能源股份有限公司变更后权利人:江西展宇新能科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:334000 江西省上饶市经济技术开发区兴业大道8号变更后权利人:334000 江西省上饶市上饶经济技术开发区兴业大道8号
2018-04-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[2]

PECVD用石墨舟卡点 [P].

叶飞 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN205170969U ,2016-04-20

[3]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[4]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[5]

用于校正管式PECVD石墨舟菱形卡点的扳手 [P].

马岳辉 ;

彭平 ;

夏中高 ;

顾鹏 .

中国专利 :CN207165530U ,2018-03-30

[6]

一种用于饱和管式PECVD用石墨舟的陶瓷罩 [P].

郑银先 ;

党继东 ;

张标 .

中国专利 :CN206639785U ,2017-11-14

[7]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

肖洁 ;

吴德轶 ;

成秋云 ;

张春成 .

中国专利 :CN109524336A ,2019-03-26

[8]

一种双面镀膜管式PECVD石墨舟结构 [P].

刘尧章 ;

秦怡 ;

苗晓亮 .

中国专利 :CN117660936A ,2024-03-08

[9]

管式PECVD石墨舟工艺点上料装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790036U ,2016-12-07

[10]

管式PECVD石墨舟工艺点安装装置 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205790035U ,2016-12-07

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