一种管式PECVD石墨舟结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811354016.7

申请日：

2018-11-14

公开(公告)号：

CN109524336A

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

肖洁吴德轶成秋云张春成

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清;戴玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	公开	公开
2019-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20181114
2020-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[2]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[3]

一种双面镀膜管式PECVD石墨舟结构 [P].

刘尧章 ;

秦怡 ;

苗晓亮 .

中国专利 :CN117660936A ,2024-03-08

[4]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[5]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

[6]

一种管式PECVD石墨舟冷却房 [P].

袁中存 ;

党继东 .

中国专利 :CN206591181U ,2017-10-27

[7]

一种高性能管式PECVD石墨舟 [P].

凌杰 .

中国专利 :CN208869659U ,2019-05-17

[8]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[9]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[10]

管式PECVD石墨舟装卸片系统 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243015U ,2015-04-01

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