PECVD石墨舟用石墨钉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420788596.1

申请日：

2014-12-12

公开(公告)号：

CN204417588U

公开(公告)日：

2015-06-24

发明(设计)人：

鲁科乔琦陆红艳黄海涛陈如龙

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区新华路9号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

PECVD用石墨舟卡点 [P].

叶飞 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN205170969U ,2016-04-20

[2]

PECVD用石墨舟移送装置 [P].

沈晓 .

中国专利 :CN214567118U ,2021-11-02

[3]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[4]

一种PECVD用石墨舟 [P].

朱旭东 ;

史孟杰 .

中国专利 :CN211170885U ,2020-08-04

[5]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[6]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[7]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[8]

多角石墨舟卡钉 [P].

赵福祥 ;

林佳继 ;

赵同荣 ;

崔美丽 .

中国专利 :CN202849542U ,2013-04-03

[9]

一种饱和用管式PECVD石墨舟 [P].

俞亚东 ;

党继东 ;

袁中存 .

中国专利 :CN205789903U ,2016-12-07

[10]

管式PECVD石墨舟装卸片系统 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243015U ,2015-04-01

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