一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121504398.4

申请日：

2021-07-01

公开(公告)号：

CN215757606U

公开(公告)日：

2022-02-08

发明(设计)人：

周佑丞谭建谢洪波张春成赵志然

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650 H01L21673

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

何文红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[2]

一种管式PECVD设备用石墨舟 [P].

林锦山 ;

张超华 ;

廖培灿 ;

谢啊山 .

中国专利 :CN220703791U ,2024-04-02

[3]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[4]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[5]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[6]

一种双舟管式PECVD石墨舟导电结构 [P].

高鑫 ;

张飞 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN218414511U ,2023-01-31

[7]

一种管式PECVD石墨舟结构 [P].

黄石明 ;

孙海平 ;

夏正月 ;

张斌 .

中国专利 :CN204857684U ,2015-12-09

[8]

石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备 [P].

侯淇文 ;

赵爱爽 ;

董奎奎 .

中国专利 :CN216712233U ,2022-06-10

[9]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[10]

PECVD石墨舟用石墨钉 [P].

鲁科 ;

乔琦 ;

陆红艳 ;

黄海涛 ;

陈如龙 .

中国专利 :CN204417588U ,2015-06-24

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