石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备

被引：0

申请号：

CN202122647184.9

申请日：

2021-11-01

公开(公告)号：

CN216712233U

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

侯淇文赵爱爽董奎奎

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C16458 H01L3118

代理机构：

北京市万慧达律师事务所 11111

代理人：

史雅琪

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备 [P].

周佑丞 ;

谭建 ;

谢洪波 ;

张春成 ;

赵志然 .

中国专利 :CN215757606U ,2022-02-08

[2]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[3]

一种管式PECVD设备用石墨舟 [P].

林锦山 ;

张超华 ;

廖培灿 ;

谢啊山 .

中国专利 :CN220703791U ,2024-04-02

[4]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[5]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

[6]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[7]

管式PECVD石墨舟装卸片系统 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243015U ,2015-04-01

[8]

管式PECVD石墨舟安装固定夹具 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN105957826A ,2016-09-21

[9]

管式PECVD石墨舟安装固定夹具 [P].

邹海军 ;

吴佳俊 ;

吴俊 ;

王少华 .

中国专利 :CN205680668U ,2016-11-09

[10]

一种管式PECVD设备石墨舟电极引入装置 [P].

张春成 ;

成秋云 ;

吴德轶 ;

李晔纯 ;

张弥涛 ;

李明 .

中国专利 :CN108456874A ,2018-08-28

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