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一种管式PECVD设备用石墨舟
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321708318.6
申请日：
2023-06-30
公开(公告)号：
CN220703791U
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
林锦山
张超华
廖培灿
谢啊山
申请人：
福建金石能源有限公司
申请人地址：
362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号
IPC主分类号：
C23C16/458
IPC分类号：
代理机构：
北京中济纬天专利代理有限公司 11429
代理人：
张娟娟
法律状态：
授权
国省代码：
福建省
泉州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 授权 | 授权 |
| 2025-11-04 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):C23C 16/458变更事项:专利权人变更前:福建金石能源有限公司变更后:福建省金石能源股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号变更后:362200 福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号 |