石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422154625.5

申请日：

2024-09-02

公开(公告)号：

CN223134586U

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

李学文刘兵吉肖岳南王郴意魏壮

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/505 C23C16/511

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

黄广龙

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备 [P].

李时俊 ;

杨宝立 ;

王凯 ;

林金雨 .

中国专利 :CN217026072U ,2022-07-22

[2]

石墨舟及镀膜设备 [P].

余仲 ;

王晨光 ;

杨宝利 ;

莫建强 ;

蒋能明 .

中国专利 :CN215799880U ,2022-02-11

[3]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN215103542U ,2021-12-10

[4]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[5]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30

[6]

石墨舟片、石墨舟及镀膜设备 [P].

赵彬宏 ;

吴中才 ;

谈仕祥 ;

陈阳 .

中国专利 :CN221217916U ,2024-06-25

[7]

具有新结构石墨舟的PECVD设备 [P].

宋立禄 .

中国专利 :CN202323023U ,2012-07-11

[8]

石墨舟及具有该石墨舟的管式PECVD设备 [P].

陈曦 ;

张达奇 ;

熊光涌 .

中国专利 :CN209636315U ,2019-11-15

[9]

管式PECVD镀膜专用石墨舟 [P].

王杨阳 ;

葛怀庆 ;

练菊 ;

孙友巍 ;

孙嵩泉 .

中国专利 :CN113355656A ,2021-09-07

[10]

支撑装置和PECVD镀膜设备 [P].

张峰 ;

袁朗宁 ;

赵本祥 .

中国专利 :CN220619100U ,2024-03-19

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