石墨舟及镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121533718.9

申请日：

2021-07-06

公开(公告)号：

CN215799880U

公开(公告)日：

2022-02-11

发明(设计)人：

余仲王晨光杨宝利莫建强蒋能明

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

张英凤

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/458 变更事项:发明人变更前:余仲王晨光杨宝利莫建强蒋能明变更后:余仲王晨光杨宝立莫建强蒋能明
2022-02-11	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨舟片、石墨舟及镀膜设备 [P].

赵彬宏 ;

吴中才 ;

谈仕祥 ;

陈阳 .

中国专利 :CN221217916U ,2024-06-25

[2]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[3]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[4]

一种石墨舟及镀膜设备 [P].

夏伟 ;

张立运 ;

王锦乐 ;

钱兴 ;

徐冠群 .

中国专利 :CN222440548U ,2025-02-07

[5]

石墨舟以及镀膜设备 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN222139264U ,2024-12-10

[6]

镀膜石墨舟 [P].

曹芳 ;

周思洁 ;

叶晓亚 ;

邹帅 ;

王栩生 .

中国专利 :CN214505457U ,2021-10-26

[7]

一种石墨舟镀膜设备 [P].

吴寅 ;

杜祥甫 ;

何军 .

中国专利 :CN220300845U ,2024-01-05

[8]

用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金井升 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN204130510U ,2015-01-28

[9]

一种石墨舟及镀膜设备 [P].

王树林 ;

杨震 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN119786403A ,2025-04-08

[10]

石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备 [P].

李学文 ;

刘兵吉 ;

肖岳南 ;

王郴意 ;

魏壮 .

中国专利 :CN223134586U ,2025-07-22

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