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一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920431063.0
申请日：
2019-04-01
公开(公告)号：
CN209418475U
公开(公告)日：
2019-09-20
发明(设计)人：
高凤海
费正洪
李栋
申请人：
申请人地址：
224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
C23C1654
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-11 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人 变更前:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司 变更事项:地址 变更前:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 变更后:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 变更事项:共同专利权人 变更前:阿特斯阳光电力集团有限公司 变更后:阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 2019-09-20 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-19 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人 变更前:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司 变更后:阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司 变更事项:地址 变更前:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 变更后:224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号 变更事项:专利权人 变更前:阿特斯阳光电力集团有限公司 变更后:阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |