硅片石墨舟辅助加热设备

被引：0

申请号：

CN202123438823.7

申请日：

2021-12-30

公开(公告)号：

CN216563052U

公开(公告)日：

2022-05-17

发明(设计)人：

马兴松程浩浩段伟何光明

申请人：

申请人地址：

223802 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区上海路1299号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21673 H01L3118 H05B306

代理机构：

无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569

代理人：

陈勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[2]

一种石墨舟清洗设备 [P].

谢君霞 ;

剡凯 ;

马晓军 ;

聂大小 ;

王武林 ;

苗学武 ;

王娜娜 .

中国专利 :CN222753932U ,2025-04-15

[3]

石墨舟内硅片位置矫正装置 [P].

宋慧锋 ;

马树明 ;

宋如意 ;

谢正杰 .

中国专利 :CN213624372U ,2021-07-06

[4]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[5]

一种石墨舟电极头以及PECVD设备 [P].

燕帅 ;

何军涛 ;

韦伟东 ;

何俊 ;

张楠楠 ;

朱新刚 ;

刘颜清 ;

李瑞波 .

中国专利 :CN221141869U ,2024-06-14

[6]

石墨舟片及石墨舟 [P].

李苗苗 ;

何军 .

中国专利 :CN206477027U ,2017-09-08

[7]

太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟 [P].

李跃恒 ;

董鹏 ;

杨爱静 ;

高艳飞 ;

郭永刚 ;

屈小勇 ;

王永岗 .

中国专利 :CN206052149U ,2017-03-29

[8]

硅片镀膜用石墨舟 [P].

王博文 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN209607715U ,2019-11-08

[9]

殷文杰 ;

康剑锋 ;

殷科平 ;

金俊强 ;

吴晓龙 ;

郑博 ;

史鹏程 .

中国专利 :CN215163111U ,2021-12-14

[10]

用于PECVD自动化上下石墨舟的装置 [P].

杨晴 ;

朱露 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN208352275U ,2019-01-08

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