石墨舟内硅片位置矫正装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022462964.1

申请日：

2020-10-30

公开(公告)号：

CN213624372U

公开(公告)日：

2021-07-06

发明(设计)人：

宋慧锋马树明宋如意谢正杰

申请人：

申请人地址：

046000 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650 H01L3118 H01L21673

代理机构：

太原市科瑞达专利代理有限公司 14101

代理人：

李富元

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨舟内硅片位置矫正装置 [P].

高荣光 ;

尤金金 .

中国专利 :CN216288348U ,2022-04-12

[2]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[3]

硅片石墨舟辅助加热设备 [P].

马兴松 ;

程浩浩 ;

段伟 ;

何光明 .

中国专利 :CN216563052U ,2022-05-17

[4]

一种石墨舟矫正装置 [P].

齐海洋 ;

王勋 .

中国专利 :CN203085503U ,2013-07-24

[5]

一种石墨舟承重装置 [P].

杨飞飞 ;

刘东林 ;

赵科巍 ;

吕涛 ;

梁玲 .

中国专利 :CN223458396U ,2025-10-21

[6]

石墨舟片及石墨舟 [P].

李苗苗 ;

何军 .

中国专利 :CN206477027U ,2017-09-08

[7]

太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟 [P].

李跃恒 ;

董鹏 ;

杨爱静 ;

高艳飞 ;

郭永刚 ;

屈小勇 ;

王永岗 .

中国专利 :CN206052149U ,2017-03-29

[8]

硅片镀膜用石墨舟 [P].

王博文 ;

孟祥熙 .

中国专利 :CN209607715U ,2019-11-08

[9]

殷文杰 ;

康剑锋 ;

殷科平 ;

金俊强 ;

吴晓龙 ;

郑博 ;

史鹏程 .

中国专利 :CN215163111U ,2021-12-14

[10]

用于石墨舟归整硅片的装置 [P].

杜晓铭 ;

余仲 ;

李操政 ;

唐晓宇 ;

张勇 .

中国专利 :CN207637826U ,2018-07-20

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