支撑装置和PECVD镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322286787.X

申请日：

2023-08-24

公开(公告)号：

CN220619100U

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

张峰袁朗宁赵本祥

申请人：

三一硅能（株洲）有限公司

申请人地址：

412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/44

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张博

法律状态：

授权

国省代码：

湖南省株洲市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨舟支撑结构及PECVD镀膜设备 [P].

李学文 ;

刘兵吉 ;

肖岳南 ;

王郴意 ;

魏壮 .

中国专利 :CN223134586U ,2025-07-22

[2]

PECVD镀膜设备 [P].

谭健 ;

杨福年 ;

方石胜 .

中国专利 :CN216999041U ,2022-07-19

[3]

PECVD镀膜装置 [P].

陈立国 ;

吕旭东 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN203653695U ,2014-06-18

[4]

一种PECVD镀膜设备 [P].

蔡伦 .

中国专利 :CN205556777U ,2016-09-07

[5]

一种支撑装置和镀膜设备 [P].

徐兴文 ;

严大 ;

李挺 ;

张胜 ;

王凯成 .

中国专利 :CN222729894U ,2025-04-08

[6]

PECVD镀膜设备 [P].

任泽明 ;

廖骁飞 ;

王号 ;

余长勇 ;

吴攀 ;

唐志奇 .

中国专利 :CN117467981A ,2024-01-30

[7]

支撑装置及镀膜设备 [P].

祁文杰 ;

张武 ;

刘群 .

中国专利 :CN220827452U ,2024-04-23

[8]

支撑装置及镀膜设备 [P].

周剑 ;

宋文华 ;

张永胜 ;

彭孝龙 ;

杨肸曦 ;

解传佳 .

中国专利 :CN214736060U ,2021-11-16

[9]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888B ,2024-02-23

[10]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888A ,2022-07-22

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