PECVD镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320858530.0

申请日：

2013-12-24

公开(公告)号：

CN203653695U

公开(公告)日：

2014-06-18

发明(设计)人：

陈立国吕旭东李海燕张受业陈伟岸贺艳赵萌朱惠钦

申请人：

申请人地址：

101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖东二路8号1幢1号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C1654 C23C1602

代理机构：

北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 11417

代理人：

刘元霞

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-26	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/513 登记生效日:20210113 变更事项:专利权人变更前权利人:北京北印东源新材料科技有限公司变更后权利人:广东红苹果科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖东二路8号1幢1号变更后权利人:515000 广东省汕头市龙湖区金砂路102号信德华大厦甲座3403房
2022-12-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/513 申请日:20131224 授权公告日:20140618 终止日期:20211224
2014-06-18	授权	授权
2021-09-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/513 登记生效日:20210909 变更事项:专利权人变更前权利人:广东红苹果科技有限公司变更后权利人:北京北印东源新材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:515000 广东省汕头市龙湖区金砂路102号信德华大厦甲座3403房变更后权利人:101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖东二路8号1幢1号

共 50 条

[1]

PECVD镀膜装置 [P].

陈立国 ;

吕旭东 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN103695870B ,2014-04-02

[2]

PECVD镀膜设备 [P].

谭健 ;

杨福年 ;

方石胜 .

中国专利 :CN216999041U ,2022-07-19

[3]

板式PECVD镀膜承载装置 [P].

朱少杰 ;

王贵梅 ;

赵环 .

中国专利 :CN212128296U ,2020-12-11

[4]

PECVD镀膜载板 [P].

毛卫平 ;

张杜超 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

黄强 .

中国专利 :CN215856320U ,2022-02-18

[5]

支撑装置和PECVD镀膜设备 [P].

张峰 ;

袁朗宁 ;

赵本祥 .

中国专利 :CN220619100U ,2024-03-19

[6]

PECVD镀膜装置的电极结构 [P].

吕旭东 ;

陈立国 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN203653694U ,2014-06-18

[7]

一种PECVD镀膜装置 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN214830650U ,2021-11-23

[8]

一种PECVD镀膜装置 [P].

陈金元 .

中国专利 :CN211394623U ,2020-09-01

[9]

一种PECVD镀膜装置 [P].

云洋 ;

苏建华 .

中国专利 :CN218321637U ,2023-01-17

[10]

一种PECVD镀膜装置 [P].

王镇 ;

颜大安 .

中国专利 :CN206927948U ,2018-01-26

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