板式PECVD镀膜承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020684632.5

申请日：

2020-04-29

公开(公告)号：

CN212128296U

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

朱少杰王贵梅赵环

申请人：

申请人地址：

055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

北京市万慧达律师事务所 11111

代理人：

张一帆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	授权	授权

共 50 条

[1]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[2]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[3]

PECVD镀膜装置 [P].

陈立国 ;

吕旭东 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN203653695U ,2014-06-18

[4]

一种PECVD镀膜承载器 [P].

沈波涛 ;

党继东 .

中国专利 :CN206298640U ,2017-07-04

[5]

PECVD镀膜专用硅片承载器 [P].

屈莹 ;

刘志刚 ;

冯鑫 .

中国专利 :CN101877373A ,2010-11-03

[6]

PECVD镀膜专用硅片承载器 [P].

屈莹 ;

刘志刚 ;

冯鑫 .

中国专利 :CN201665709U ,2010-12-08

[7]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

钱孟 ;

蒲天 ;

尹鸣 .

中国专利 :CN212476878U ,2021-02-05

[8]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN202717845U ,2013-02-06

[9]

一种板式PECVD镀膜异常的补救装置 [P].

沈凯锋 ;

李勇 .

中国专利 :CN206337311U ,2017-07-18

[10]

PECVD镀膜装置 [P].

陈立国 ;

吕旭东 ;

李海燕 ;

张受业 ;

陈伟岸 ;

贺艳 ;

赵萌 ;

朱惠钦 .

中国专利 :CN103695870B ,2014-04-02

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