PECVD镀膜专用硅片承载器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010140438.1

申请日：

2010-03-29

公开(公告)号：

CN101877373A

公开(公告)日：

2010-11-03

发明(设计)人：

屈莹刘志刚冯鑫

申请人：

申请人地址：

213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L3120

IPC分类号：

代理机构：

常州市维益专利事务所 32211

代理人：

周祥生

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101710369215 IPC(主分类):H01L 31/20 专利申请号:2010101404381 申请公布日:20101103
2010-11-03	公开	公开
2012-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101343336786 IPC(主分类):H01L 31/20 专利申请号:2010101404381 申请日:20100329

共 50 条

[1]

PECVD镀膜专用硅片承载器 [P].

屈莹 ;

刘志刚 ;

冯鑫 .

中国专利 :CN201665709U ,2010-12-08

[2]

一种PECVD镀膜承载器 [P].

沈波涛 ;

党继东 .

中国专利 :CN206298640U ,2017-07-04

[3]

硅片承载器 [P].

孙卫东 ;

黄萍 ;

王华 ;

朱道峰 .

中国专利 :CN1303664C ,2005-06-01

[4]

硅片承载器 [P].

孙卫东 ;

黄萍 ;

王华 ;

朱道峰 .

中国专利 :CN2837240Y ,2006-11-15

[5]

一种PECVD镀膜工艺 [P].

张小剑 .

中国专利 :CN111139448B ,2020-05-12

[6]

硅片镀膜用支撑钩 [P].

杨怀明 ;

李伯平 .

中国专利 :CN201069767Y ,2008-06-04

[7]

板式PECVD镀膜承载装置 [P].

朱少杰 ;

王贵梅 ;

赵环 .

中国专利 :CN212128296U ,2020-12-11

[8]

硅片镀膜用支撑架 [P].

杨怀明 ;

伍波 ;

张勇 ;

李伯平 .

中国专利 :CN201167088Y ,2008-12-17

[9]

一种传输结构和PECVD镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN215103547U ,2021-12-10

[10]

石墨框部件以及PECVD镀膜设备 [P].

马凡东 ;

徐冠群 ;

李红飞 .

中国专利 :CN222182434U ,2024-12-17

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