一种板式PECVD镀膜载板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021337336.4

申请日：

2020-07-09

公开(公告)号：

CN212476878U

公开(公告)日：

2021-02-05

发明(设计)人：

钱孟蒲天尹鸣

申请人：

申请人地址：

201100 上海市闵行区古北路1699号1304、1305-1室

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

南京中高专利代理有限公司 32333

代理人：

袁兴隆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-05	授权	授权
2022-06-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20200709 授权公告日:20210205 终止日期:20210709

共 50 条

[1]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

钱孟 ;

蒲天 ;

尹鸣 .

中国专利 :CN111647877A ,2020-09-11

[2]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[3]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN202717845U ,2013-02-06

[4]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[5]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN102703883A ,2012-10-03

[6]

PECVD镀膜载板 [P].

毛卫平 ;

张杜超 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

黄强 .

中国专利 :CN215856320U ,2022-02-18

[7]

一种PECVD板式镀膜板框 [P].

符昌京 ;

聂文广 .

中国专利 :CN203270028U ,2013-11-06

[8]

一种板式PECVD系统中的镀膜载板部件 [P].

谢安冉 ;

王建星 ;

陈岩 .

中国专利 :CN211471546U ,2020-09-11

[9]

板式PECVD加热载板 [P].

姚骞 ;

林大成 ;

王虎 ;

胡嫚 .

中国专利 :CN202688446U ,2013-01-23

[10]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888B ,2024-02-23

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