一种板式PECVD镀膜载板

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210165386.2

申请日：

2012-05-25

公开(公告)号：

CN102703883A

公开(公告)日：

2012-10-03

发明(设计)人：

姚骞杨怀进林大成黄勇王虎

申请人：

申请人地址：

215434 江苏省苏州市太仓市太仓港港口开发区平江路88号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

夏雪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353333729 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2012101653862 申请日:20120525
2012-10-03	公开	公开
2014-07-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101702683217 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2012101653862 申请公布日:20121003

共 50 条

[1]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN202717845U ,2013-02-06

[2]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[3]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[4]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

钱孟 ;

蒲天 ;

尹鸣 .

中国专利 :CN111647877A ,2020-09-11

[5]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

钱孟 ;

蒲天 ;

尹鸣 .

中国专利 :CN212476878U ,2021-02-05

[6]

PECVD镀膜载板 [P].

毛卫平 ;

张杜超 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

黄强 .

中国专利 :CN215856320U ,2022-02-18

[7]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888B ,2024-02-23

[8]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888A ,2022-07-22

[9]

一种PECVD板式镀膜板框 [P].

符昌京 ;

聂文广 .

中国专利 :CN203270028U ,2013-11-06

[10]

一种PECVD镀膜机的载板升降组件 [P].

林佳继 ;

刘群 ;

张武 ;

朱太荣 ;

庞爱锁 ;

林依婷 .

中国专利 :CN112575316A ,2021-03-30

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