PECVD镀膜载板及镀膜设备

被引：0

申请号：

CN202111162270.9

申请日：

2021-09-30

公开(公告)号：

CN114774888A

公开(公告)日：

2022-07-22

发明(设计)人：

孙健陈晨黄云岭杨杰申曌奉王青松

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650 C23C1624

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

刘宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20210930
2022-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P].

孙健 ;

陈晨 ;

黄云岭 ;

杨杰 ;

申曌奉 ;

王青松 .

中国专利 :CN114774888B ,2024-02-23

[2]

PECVD镀膜载板 [P].

毛卫平 ;

张杜超 ;

蔡涔 ;

谷士斌 ;

黄强 .

中国专利 :CN215856320U ,2022-02-18

[3]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[4]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[5]

镀膜载板及镀膜设备 [P].

朱鹤囡 ;

戴佳 ;

刘群 ;

张武 ;

林佳继 .

中国专利 :CN218321639U ,2023-01-17

[6]

镀膜载板、镀膜设备及电池片 [P].

金龙 ;

周浩 ;

杨立红 ;

万永山 .

中国专利 :CN223445636U ,2025-10-17

[7]

载板和镀膜设备 [P].

沈良 .

中国专利 :CN109628905A ,2019-04-16

[8]

PECVD镀膜设备 [P].

谭健 ;

杨福年 ;

方石胜 .

中国专利 :CN216999041U ,2022-07-19

[9]

镀膜载具及镀膜设备 [P].

邓志鹏 ;

朱太荣 ;

郭路斌 ;

张武 .

中国专利 :CN220468143U ,2024-02-09

[10]

一种板式PECVD镀膜载板 [P].

姚骞 ;

杨怀进 ;

林大成 ;

黄勇 ;

王虎 .

中国专利 :CN202717845U ,2013-02-06

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