载板和镀膜设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811583129.4
申请日
2018-12-24
公开(公告)号
CN109628905A
公开(公告)日
2019-04-16
发明(设计)人
沈良
申请人
申请人地址
100176 北京市北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
C23C1456
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
罗建民;杜丹丹
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
[1]
镀膜载板、镀膜设备及电池片 [P]. 
金龙 ;
周浩 ;
杨立红 ;
万永山 .
中国专利 :CN223445636U ,2025-10-17
[2]
PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P]. 
孙健 ;
陈晨 ;
黄云岭 ;
杨杰 ;
申曌奉 ;
王青松 .
中国专利 :CN114774888B ,2024-02-23
[3]
PECVD镀膜载板及镀膜设备 [P]. 
孙健 ;
陈晨 ;
黄云岭 ;
杨杰 ;
申曌奉 ;
王青松 .
中国专利 :CN114774888A ,2022-07-22
[4]
硅片载板、载板电极装置和镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 .
中国专利 :CN213570725U ,2021-06-29
[5]
硅片载板、载板电极装置和镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 .
中国专利 :CN112226746A ,2021-01-15
[6]
硅片载板、载板电极装置和镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 .
中国专利 :CN112226746B ,2024-06-25
[7]
防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备 [P]. 
陈刚 ;
林海 ;
杨新强 .
中国专利 :CN113106424A ,2021-07-13
[8]
防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备 [P]. 
陈刚 ;
林海 ;
杨新强 .
中国专利 :CN214612751U ,2021-11-05
[9]
防底壁损伤硅片的镀膜载板和镀膜设备 [P]. 
陈刚 ;
林海 ;
杨新强 .
中国专利 :CN214612752U ,2021-11-05
[10]
一种镀膜载板及镀膜设备 [P]. 
刘亚南 ;
孙健 ;
陈晨 ;
周剑 ;
王登志 .
中国专利 :CN221071643U ,2024-06-04