防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120853569.8

申请日：

2021-04-23

公开(公告)号：

CN214612751U

公开(公告)日：

2021-11-05

发明(设计)人：

陈刚林海杨新强

申请人：

申请人地址：

322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333

代理人：

贾振勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

防硅片中心下陷的镀膜载板和镀膜设备 [P].

陈刚 ;

林海 ;

杨新强 .

中国专利 :CN113106424A ,2021-07-13

[2]

防底壁损伤硅片的镀膜载板和镀膜设备 [P].

陈刚 ;

林海 ;

杨新强 .

中国专利 :CN214612752U ,2021-11-05

[3]

一种防硅片损伤的镀膜载板和镀膜设备 [P].

陈刚 ;

林海 ;

杨新强 .

中国专利 :CN113106423A ,2021-07-13

[4]

一种防硅片损伤的镀膜载板和镀膜设备 [P].

陈刚 ;

林海 ;

杨新强 .

中国专利 :CN214612753U ,2021-11-05

[5]

防底壁损伤硅片的镀膜载板及其制作方法和镀膜设备 [P].

陈刚 ;

林海 ;

杨新强 .

中国专利 :CN113106425A ,2021-07-13

[6]

镀膜载板、镀膜设备及电池片 [P].

金龙 ;

周浩 ;

杨立红 ;

万永山 .

中国专利 :CN223445636U ,2025-10-17

[7]

载板和镀膜设备 [P].

沈良 .

中国专利 :CN109628905A ,2019-04-16

[8]

硅片镀膜载板 [P].

张瞩君 .

中国专利 :CN201793736U ,2011-04-13

[9]

真空吸附硅片的镀膜载板和镀膜设备 [P].

孙林 ;

潘登 .

中国专利 :CN222631531U ,2025-03-18

[10]

硅片载板、载板电极装置和镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN112226746B ,2024-06-25

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