一种石墨舟快速传送机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810448475.5

申请日：

2018-05-11

公开(公告)号：

CN108417521A

公开(公告)日：

2018-08-17

发明(设计)人：

张学强戴军张建伟罗银兵

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

耿丹丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180511
2018-08-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种石墨舟快速传送机构 [P].

张学强 ;

戴军 ;

张建伟 ;

罗银兵 .

中国专利 :CN208189556U ,2018-12-04

[2]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN110654792A ,2020-01-07

[3]

一种石墨舟传送机 [P].

孙红彬 ;

岳成武 ;

段波 ;

陶龙忠 ;

杨灼坚 ;

沙泉 ;

唐福云 ;

周天贤 ;

李宁 ;

王枫 ;

王平 ;

周斌 ;

李永伟 ;

马海青 .

中国专利 :CN210943576U ,2020-07-07

[4]

一种改进型石墨舟传送机 [P].

李苗苗 ;

李静 .

中国专利 :CN212797945U ,2021-03-26

[5]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

肖岳南 ;

张勇 .

中国专利 :CN206052147U ,2017-03-29

[6]

一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构 [P].

高斌 ;

施文成 ;

李友军 ;

李友萍 .

中国专利 :CN215887225U ,2022-02-22

[7]

一种薄膜快速传送机构 [P].

陈璞 ;

曹龙伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN210681330U ,2020-06-05

[8]

一种传送机构 [P].

黄国庆 .

中国专利 :CN208868763U ,2019-05-17

[9]

一种传送机构 [P].

王鑫 ;

周瑜峰 ;

黄社金 ;

陈伟明 ;

王利光 .

中国专利 :CN206375316U ,2017-08-04

[10]

一种传送机构 [P].

刘明华 ;

邹学彬 .

中国专利 :CN209880571U ,2019-12-31

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