易于脱模的氮化硼坩埚模具

被引：0

申请号：

CN202123140125.9

申请日：

2021-12-14

公开(公告)号：

CN216550700U

公开(公告)日：

2022-05-17

发明(设计)人：

占庆怀汪锡华

申请人：

申请人地址：

201600 上海市松江区大港工业园中德路669号1号楼

IPC主分类号：

C23C1654

IPC分类号：

C23C1634 C23C16458

代理机构：

南京明杰知识产权代理事务所(普通合伙) 32464

代理人：

葛红

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

氮化硼坩埚模具、制备方法及脱模方法 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN114196923B ,2022-03-18

[2]

一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构 [P].

乔印彬 .

中国专利 :CN212955449U ,2021-04-13

[3]

导电氮化硼蒸发坩埚 [P].

巩长生 ;

宫伯昌 ;

任学美 ;

巩晓 .

中国专利 :CN202329110U ,2012-07-11

[4]

氮化硼坩埚的化学清洗 [P].

李炳辉 ;

吕有明 ;

申德振 ;

刘益春 ;

梁红伟 ;

张吉英 ;

范希武 .

中国专利 :CN1517159A ,2004-08-04

[5]

用于制备热解氮化硼细颈蒸发坩埚的石墨模具 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202865333U ,2013-04-10

[6]

一种氮化硼坩埚模具及其防脱落结构和系统 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN208167096U ,2018-11-30

[7]

一种氮化硼坩埚的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN214693922U ,2021-11-12

[8]

一种氮化硼坩埚生产系统 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN208167095U ,2018-11-30

[9]

一种氮化硼坩埚打磨装置 [P].

何军舫 .

中国专利 :CN207629769U ,2018-07-20

[10]

一氮化硼坩埚及其制造方法 [P].

R·J·芬尼克尔 .

中国专利 :CN1058091A ,1992-01-22

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