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一种氮化硼坩埚的气相沉积炉
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121497279.0
申请日：
2021-07-02
公开(公告)号：
CN214693922U
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
何军舫
王军勇
申请人：
申请人地址：
122000 辽宁省朝阳市喀喇沁左翼蒙古族自治县经济开发区
IPC主分类号：
C04B35583
IPC分类号：
代理机构：
北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664
代理人：
王文峰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 授权 | 授权 |