制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220429456.6

申请日：

2012-08-27

公开(公告)号：

CN202865334U

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

何军舫王军勇

申请人：

申请人地址：

101101 北京市通州区滨河路108号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1634 C01B21064

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348

代理人：

王伟锋;刘铁生

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/44 登记生效日:20190527 变更事项:专利权人变更前权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更后权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更后权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更事项:共同专利权人变更后权利人:博宇（朝阳）半导体科技有限公司博宇（天津）半导体材料有限公司
2013-04-10	授权	授权
2021-08-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20120827 授权公告日:20130410 终止日期:20200827

共 50 条

[1]

制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN102796995A ,2012-11-28

[2]

热解氮化硼气相沉积炉 [P].

赵风鸣 .

中国专利 :CN2136445Y ,1993-06-16

[3]

制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 [P].

赵凤鸣 ;

赵林 .

中国专利 :CN102021533A ,2011-04-20

[4]

制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786416U ,2013-03-13

[5]

制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786420U ,2013-03-13

[6]

制备热解氮化硼制品用的有分离式进气口的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786419U ,2013-03-13

[7]

生产氮化硼制品的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN205398723U ,2016-07-27

[8]

一种热解氮化硼用的沉积炉 [P].

董家海 ;

曹新华 ;

周孟忠 .

中国专利 :CN205556773U ,2016-09-07

[9]

一种热解氮化硼沉积炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

张冬翔 ;

李广敏 .

中国专利 :CN214218853U ,2021-09-17

[10]

热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉 [P].

赵林 ;

赵凤鸣 .

中国专利 :CN102330068A ,2012-01-25

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