热解氮化硼气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN92235683.1

申请日：

1992-09-29

公开(公告)号：

CN2136445Y

公开(公告)日：

1993-06-16

发明(设计)人：

赵风鸣

申请人：

申请人地址：

110015辽宁省沈阳市文化路72号

IPC主分类号：

F27B1400

IPC分类号：

代理机构：

中国科学院沈阳专利事务所

代理人：

闵宪智

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1997-11-19	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN102796995A ,2012-11-28

[2]

制备热解氮化硼制品用的环空保温气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202865334U ,2013-04-10

[3]

制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 [P].

赵凤鸣 ;

赵林 .

中国专利 :CN102021533A ,2011-04-20

[4]

一种热解氮化硼沉积炉 [P].

张华芹 ;

程佳彪 ;

张冬翔 ;

李广敏 .

中国专利 :CN214218853U ,2021-09-17

[5]

生产氮化硼制品的气相沉积炉 [P].

董家海 .

中国专利 :CN205398723U ,2016-07-27

[6]

制备热解氮化硼制品用的具有相变保温层的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786416U ,2013-03-13

[7]

一种热解氮化硼用的沉积炉 [P].

董家海 ;

曹新华 ;

周孟忠 .

中国专利 :CN205556773U ,2016-09-07

[8]

一种氮化硼坩埚的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN214693922U ,2021-11-12

[9]

热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉 [P].

赵林 ;

赵凤鸣 .

中国专利 :CN102330068A ,2012-01-25

[10]

制备热解氮化硼制品用的有多方位进气口的气相沉积炉 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202786420U ,2013-03-13

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